Lam Research Corp introduceerde in de laatste week van maart ‘s werelds eerste productiegeoriënteerde pulsed laser deposition (PLD) gereedschap om de volgende generatie MEMS-gebaseerde microfoons en radiofrequentiefilters (RF-filters) mogelijk te maken. Lam’s Pulsus PLD-systeem levert aluminium scandium nitride (AlScN) films met het hoogste scandiumgehalte dat beschikbaar is. Dit maakt de weg vrij voor geavanceerde consumenten- en automotive devices met verbeterde prestaties, mogelijkheden en functionaliteit. Pulsus wordt nu geleverd aan geselecteerde fabrikanten van speciale apparaten.
Link magazine special 2024: The Dutch…